GB/T 38616-2020 納米定位與掃描平臺術語 現(xiàn)行
作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-08-05
中文標準名稱：納米定位與掃描平臺術語
英文標準名稱：Terminology for nano positioning and scaning stage
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
標準類型：國家標準
發(fā)布日期：2020/4/28 12:00:00
實施日期：2020/11/1 12:00:00
中國標準分類號：三英精控（天津）儀器設備有限公司
國際標準分類號：01.040.39
歸口單位：全國電子測量儀器標準化技術委員會
主管部門：工業(yè)和信息化部（電子）
起草單位：沈陽建筑大學
起草人：戴敬
相近標準： ?納米定位與掃描平臺術語;20162484-T-339 ?納米定位與掃描平臺術語; ?基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動器的納米定
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