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GB/T 38614-2020 基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動器的納米定位與掃描平臺測量方法現行

作者：百檢網時間：2021-08-05

標準號：GB/T 38614-2020
中文標準名稱：基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動器的納米定位與掃描平臺測量方法
英文標準名稱：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2020/4/28 12:00:00
實施日期：2020/11/1 12:00:00
中國標準分類號：三英精控（天津）儀器設備有限公司
國際標準分類號：01.040.39
歸口單位：全國電子測量儀器標準化技術委員會
主管部門：工業和信息化部（電子）
起草單位：沈陽建筑大學
起草人：戴敬
相近標準： ?基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動器的納米定位與掃描平臺測量方法;20162485-T-339 ?基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動

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