20190942-T-469 半導(dǎo)體器件 微機(jī)電器件 第9部分：MEMS的晶圓間鍵合強(qiáng)度測(cè)量 正在起草
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-05
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：半導(dǎo)體器件 微機(jī)電器件 第9部分：MEMS的晶圓間鍵合強(qiáng)度測(cè)量
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：正在起草
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)標(biāo)計(jì)劃
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實(shí)施日期：1999/12/31 12:00:00
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：31.080.99
歸口單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門(mén)：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所等
相近標(biāo)準(zhǔn)： ?半導(dǎo)體器件 微機(jī)電器件 第9部分：MEMS的晶圓間鍵合強(qiáng)度測(cè)量;GB/T 32817-2016 ?半導(dǎo)體器件 微機(jī)電器件
標(biāo)準(zhǔn)制修訂：制訂
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