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GB/T 37049-2018 電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定電感耦合等離子體質譜法現行

作者：百檢網時間：2021-08-05

標準號：GB/T 37049-2018
中文標準名稱：電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定電感耦合等離子體質譜法
英文標準名稱：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2018/12/28 12:00:00
實施日期：2019/4/1 12:00:00
中國標準分類號：青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司
國際標準分類號：77.040.30
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：江蘇中能硅業科技發展有限公司
起草人：魯文鋒
相近標準：20141873-T-469 ?電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定電感耦合等離子體質譜法;20210891-T-469 ?

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