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20171123-T-469 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法已發(fā)布

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-05

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：20171123-T-469
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：已發(fā)布
標(biāo)準(zhǔn)類型：國標(biāo)計(jì)劃
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實(shí)施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.200
歸口單位：全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：北京大學(xué)
起草人：張亞婷
相近標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 38447-2020 ?微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法;GB/T 26111-2010 ?微
標(biāo)準(zhǔn)制修訂：制訂

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