ISO 18114-2003 表面化學(xué)分析.次級(jí)離子質(zhì)譜法.測(cè)定離子注入標(biāo)樣中的相對(duì)靈敏度系數(shù)
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-05
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：表面化學(xué)分析.次級(jí)離子質(zhì)譜法.測(cè)定離子注入標(biāo)樣中的相對(duì)靈敏度系數(shù)
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
標(biāo)準(zhǔn)類型：G04
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實(shí)施日期：1999/12/31 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：G04
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：71.040.40
適用范圍：This International Standard specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials. The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.
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