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ISO 10692-1-2001 氣瓶微電子工業用氣瓶閥的連接第1部分：出口連接

作者：百檢網時間：2021-08-05

標準號：ISO 10692-1-2001
中文標準名稱：氣瓶微電子工業用氣瓶閥的連接第1部分：出口連接
英文標準名稱：Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the micro-electronics industry - Part 1: Outlet connections
標準類型：J74
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：J74
國際標準分類號：23.060.40
適用范圍：This part of ISO 10692 applies to the outlet connections of gas cylinder valves for gases and gas mixtures and concerns special requirements where the highest levels of cleanliness and freedom from particles are demanded for the manufacture of microelectronic components or similar applications.

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