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ASTM F1152-1993(2001) 硅片刻槽尺寸的標(biāo)準(zhǔn)測試方法

作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-05

標(biāo)準(zhǔn)號：ASTM F1152-1993(2001)
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅片刻槽尺寸的標(biāo)準(zhǔn)測試方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Standard Test Method for Dimensions of Notches on Silicon Wafers
標(biāo)準(zhǔn)類型：H82
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實(shí)施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：H82
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：29.045 (Semiconducting materials)

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