DB37/T 2541.2-2014 橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法
作者：百檢網 時間：2021-08-06
中文標準名稱：橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法
英文標準名稱：Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer
標準類型：國家標準
發布日期：2014/9/30 12:00:00
實施日期：2015/4/15 12:00:00
中國標準分類號：納米技術及應用國家工程研究中心
國際標準分類號：17.040.01
歸口單位：全國納米技術標準化技術委員會
主管部門：中國科學院
起草單位：上海交通大學
起草人：金承鈺
相近標準：20078473-T-491 ?橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法;GB/T 20020-2013 ?氣相二氧化硅;2
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