DB37/T 2531.3-2014 原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法 現行
作者：百檢網 時間：2021-08-06
中文標準名稱：原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法
英文標準名稱：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2014/9/30 12:00:00
實施日期：2015/4/15 12:00:00
中國標準分類號：納米技術及應用國家工程研究中心
國際標準分類號：17.040.20
歸口單位：全國納米技術標準化技術委員會
主管部門：中國科學院
起草單位：上海交通大學
起草人：李慧琴
相近標準：20078478-T-491 ?原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法;GB/T 32189-2015 ?氮化鎵單晶襯底表面粗
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