DB14/T 1028-2014 集成電路用 鋁腐蝕液 現行
作者：百檢網 時間：2021-08-06
中文標準名稱：集成電路用 鋁腐蝕液
標準狀態：現行
標準類型：行業標準
發布日期：2015/4/30 12:00:00
實施日期：2015/10/1 12:00:00
中國標準分類號：工業和信息化部電子工業標準化研究院
國際標準分類號：31.030
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：工業和信息化部
起草單位：江陰潤瑪電子材料股份有限公司
起草人：王周霞
相近標準：GB/T 12842-1991 ?膜集成電路和混合膜集成電路術語;SJ/T 11507-2015 ?集成電路用 氧化層緩沖腐蝕液
行業分類：無
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