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HG/T 4786-2014 碳化硅單晶拋光片表面質量的測試方法現行

作者：百檢網時間：2021-08-06

標準號：HG/T 4786-2014
中文標準名稱：碳化硅單晶拋光片表面質量的測試方法
標準狀態：現行
標準類型：行業標準
發布日期：2015/4/30 12:00:00
實施日期：2015/10/1 12:00:00
中國標準分類號：工業和信息化部電子工業標準化研究院
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：工業和信息化部
起草單位：中國電子科技集團公司第四十六研究所
起草人：周智慧
相近標準：GB/T 30656-2014 ?碳化硅單晶拋光片; ?碳化硅單晶拋光片;20200799-T-469 ?碳化硅單晶拋光片;20
行業分類：無

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