DB34/T 2702-2016 半導體器件 微機電器件 MEMS總規范 現行
作者：百檢網 時間：2021-08-06
中文標準名稱：半導體器件 微機電器件 MEMS總規范
英文標準名稱：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
標準狀態：現行
標準類型：國家標準
發布日期：2016/8/29 12:00:00
實施日期：2017/3/1 12:00:00
中國標準分類號：中國電子科技集團公司第十三研究所
國際標準分類號：31.080.99
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中機生產力促進中心
起草人：施芹
相近標準：20110876-T-469 ?半導體器件 微機電器件 MEMS總規范;20204971-T-469 ?半導體器件 微機電器
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