DB37/T 3471-2018 硅基MEMS制造技術(shù) 體硅壓阻加工工藝規(guī)范 現(xiàn)行
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-06
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅基MEMS制造技術(shù) 體硅壓阻加工工藝規(guī)范
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
發(fā)布日期：2016/8/29 12:00:00
實(shí)施日期：2017/3/1 12:00:00
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：31.200
歸口單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門(mén)：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：北京大學(xué)
起草人：王瑋
相近標(biāo)準(zhǔn)：20110874-T-469 ?硅基MEMS制造技術(shù) 體硅壓阻加工工藝規(guī)范;AQ 4220-2012 ?石材加工工藝防塵技術(shù)規(guī)
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