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CB/T 4418-2016 硅外延層厚度測定堆垛層錯尺寸法現行

作者：百檢網時間：2021-08-06

標準號：CB/T 4418-2016
中文標準名稱：硅外延層厚度測定堆垛層錯尺寸法
標準狀態：現行
標準類型：行業標準
發布日期：2016/4/5 12:00:00
實施日期：2016/9/1 12:00:00
中國標準分類號：H21
國際標準分類號：77.040
主管部門：工業和信息化部
相近標準：YS/T 23-1992 ?硅外延層厚度測定堆垛層錯尺寸法;YS/T 15-2015 ?硅外延層和擴散層厚度測定磨角染色法;Y
行業分類：制造業

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