DB45/T 1680-2018 藍(lán)寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法 現(xiàn)行
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2021-08-06
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：藍(lán)寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
發(fā)布日期：2017/10/14 12:00:00
實(shí)施日期：2018/5/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：邵峰
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：77.040
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：天通控股股份有限公司
起草人：康森
相近標(biāo)準(zhǔn)：20132165-T-469 ?藍(lán)寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法; ?藍(lán)寶石圖形化襯底片;GB/T 30858-2014
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