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20090279-T-469 硅基MEMS制造技術 微鍵合區剪切和拉壓強度檢測方法 已發布

作者:百檢網 時間:2021-08-06

標準號:20090279-T-469
中文標準名稱:硅基MEMS制造技術 微鍵合區剪切和拉壓強度檢測方法
英文標準名稱:Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area
標準狀態:已發布
標準類型:國標計劃
發布日期:1999/12/31 12:00:00
實施日期:1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號:中機生產力促進中心
國際標準分類號:31.200
歸口單位:全國微機電技術標準化技術委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
起草單位:北京大學
起草人:王瑋
相近標準:GB/T 28277-2012 ?硅基MEMS制造技術 微鍵合區剪切和拉壓強度檢測方法; ?硅基MEMS制造技術 微結構彎曲強
標準制修訂:制訂

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