20065622-T-469 硅及其它電子材料晶片參考面長度測量方法 已發布
作者：百檢網 時間：2021-08-06
中文標準名稱：硅及其它電子材料晶片參考面長度測量方法
英文標準名稱：Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
標準狀態：已發布
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：有研半導體材料股份有限公司
起草人：盧立延
相近標準：GB/T 13387-2009 ?硅及其它電子材料晶片參考面長度測量方法;GB/T 13387-1992 ?電子材料晶片參考面長
標準制修訂：修訂
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