20110877-T-469 硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規(guī)范 已發(fā)布
作者：百檢網 時間：2021-08-06
中文標準名稱：硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規(guī)范
英文標準名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
標準狀態(tài)：已發(fā)布
標準類型：國標計劃
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
中國標準分類號：中機生產力促進中心
國際標準分類號：31.200
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：北京大學
起草人：黃賢
相近標準：GB/T 32816-2016 ?硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規(guī)范;20110875-T-469 ?硅
標準制修訂：制訂
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