20000356-T-491 化學放大光致抗蝕劑的工藝參數描述規范
作者：百檢網 時間：2021-08-06
中文標準名稱：化學放大光致抗蝕劑的工藝參數描述規范
標準類型：國標計劃
發布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國科學院微電子中心
相近標準：20153725-T-469 ?化學放大光致抗蝕劑的工藝參數描述規范; ?化學放大光致抗蝕劑的工藝參數描述規范;20141891
標準制修訂：制訂
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