GB/T 16596-2019 GB/T 16596-2019 確定晶片坐標系規范
作者：百檢網 時間：2021-08-19
中文標準名稱：GB/T 16596-2019 確定晶片坐標系規范
英文標準名稱：Specification for establishing a wafer coordinate system
發布日期：2019-03-25 00:00:00.0
實施日期：2020-02-01 00:00:00.0
中國標準分類號：H80
國際標準分類號：29.045
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