GB/T 34893-2017 GB/T 34893-2017 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)面內(nèi)長度測量方法
作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-08-19
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：GB/T 34893-2017 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結(jié)構(gòu)面內(nèi)長度測量方法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
發(fā)布日期：2017-11-01 00:00:00.0
實施日期：2018-05-01 00:00:00.0
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：L55
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：31.200
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