SJ/T 11504-2015 SJ/T 11504-2015 碳化硅單晶拋光片表面質量的測試方法
作者：百檢網 時間：2021-08-19
中文標準名稱：SJ/T 11504-2015 碳化硅單晶拋光片表面質量的測試方法
英文標準名稱：Test method for measuring surface quality of polished monocrystalline silicon carbide
發布日期：2015-04-30
實施日期：2015-10-01
中國標準分類號：H83
國際標準分類號：29.045
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