EN ISO 14644-2-2015 EN ISO 14644-2-2015 潔凈室和相關控制環境.第2部分:用粒子濃度監測提供與空氣潔凈度相關的潔凈室性能的證據
作者：百檢網 時間：2021-08-20
中文標準名稱：EN ISO 14644-2-2015 潔凈室和相關控制環境.第2部分:用粒子濃度監測提供與空氣潔凈度相關的潔凈室性能的證據
英文標準名稱：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
發布日期：2015-12
中國標準分類號：N61
國際標準分類號：13.040.35
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