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電子級用水檢測

作者:百檢網 時間:2021-10-09 來源:互聯網

服務詳情

1、 范圍


GB/T 11446.1-2013 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。

本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水。


2、水質標準


項目

技術指標

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

電阻率(25℃)/

MΩ·cm

≥18
(5%時間不低于17)

≥15
(5%時間不低于13)

≥12

≥0.5

全硅/(μg/L)

≤2

≤10

≤50

≤1000

微粒數/
(個/L)

0.05μm~0.1μm

500

-

-

-

0.1μm~0.2μm

300

-

-

-

0.2μm~0.3μm

50

-

-

-

0.3μm~0.5μm

20

-

-

-

>0.5μm

4

-

-

-

細菌個數/(個/mL)

≤0.01

≤0.1

≤10

≤100

銅/(μg/L)

≤0.2

≤1

≤2

≤500

鋅/(μg/L)

≤0.2

≤1

≤5

≤500

鎳/(μg/L)

≤0.1

≤1

≤2

≤500

鈉/(μg/L)

≤0.5

≤2

≤5

≤1000

鉀/(μg/L)

≤0.5

≤2

≤5

≤500

鐵/(μg/L)

≤0.1

-

-

-

鉛/(μg/L)

≤0.1

-

-

-

氟/(μg/L)

≤1

-

-

-

氯/(μg/L)

≤1

≤1

≤10

≤1000

亞硝酸根/(μg/L)

≤1

-

-

-

溴/(μg/L)

≤1

-

-

-

硝酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500

磷酸根/(μg/L)

≤1

≤1

≤5

≤500


3、水質檢驗


1電阻率

電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。

2全硅含量(以二氧化硅計)

電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。

3微粒數

電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。

4細菌總數

電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。

5痕量金屬含量

電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。

6氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。

7總有機碳含量

電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。


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