1、 范圍
GB/T 11446.1-2013 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。
本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水。
2、水質標準
項目
技術指標
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
電阻率(25℃)/
MΩ·cm
≥18
(5%時間不低于17)
≥15
(5%時間不低于13)
≥12
≥0.5
全硅/(μg/L)
≤2
≤10
≤50
≤1000
微粒數/
(個/L)
0.05μm~0.1μm
500
-
-
-
0.1μm~0.2μm
300
-
-
-
0.2μm~0.3μm
50
-
-
-
0.3μm~0.5μm
20
-
-
-
>0.5μm
4
-
-
-
細菌個數/(個/mL)
≤0.01
≤0.1
≤10
≤100
銅/(μg/L)
≤0.2
≤1
≤2
≤500
鋅/(μg/L)
≤0.2
≤1
≤5
≤500
鎳/(μg/L)
≤0.1
≤1
≤2
≤500
鈉/(μg/L)
≤0.5
≤2
≤5
≤1000
鉀/(μg/L)
≤0.5
≤2
≤5
≤500
鐵/(μg/L)
≤0.1
-
-
-
鉛/(μg/L)
≤0.1
-
-
-
氟/(μg/L)
≤1
-
-
-
氯/(μg/L)
≤1
≤1
≤10
≤1000
亞硝酸根/(μg/L)
≤1
-
-
-
溴/(μg/L)
≤1
-
-
-
硝酸根/(μg/L)
≤1
≤1
≤5
≤500
磷酸根/(μg/L)
≤1
≤1
≤5
≤500
3、水質檢驗
1電阻率
電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。
2全硅含量(以二氧化硅計)
電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。
3微粒數
電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。
4細菌總數
電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。
5痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。
6氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。
7總有機碳含量
電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。
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