SEMI S6-半導體制造設備的通風系統的 EHS 指南

SEMI S6 - EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment???

隨著能量效率的提高，以及排氣通風設施的物理限制變得更加明顯，半導體設備的排氣通風的優化變得越來越重要。設備的排氣通風設計不合理，可能會造成操作人員的傷亡，引起設備乃至整個工廠的燒毀。

所以半導體制造設備供應商應提供有效的排氣通風設計，以保護人員，財產和環境免受風險。

?

SEMI S6的測試方法是使用示蹤氣體測定逸散性排放的試驗方法，對含 HPM 或易燃易爆氣體的半導體裝備,考量通風效率。通過示蹤氣體的濃度來判斷罩殼內潛在有毒氣體或蒸汽不會導致其散布到罩殼外部; 通過測試排氣通風系統在罩殼內提供稀釋空氣的能力，使泄漏處的易燃氣體的濃度低于其LFL的25％ 。

欣項科技在SEMI 認證領域擁有十余年豐富的認證經驗，能為您提供業界公認的半導體設備測試、評估報告以及文件審查服務。更為重要的是，欣項科技具有獨立的第三方實驗室認可資質，如美國權威實驗室認可機構A2LA，中國實驗室認可組織CNAS，國際半導體協會SEMI，直接具有對SEMI 標準的授權及認可，讓你的認證放心無憂。

?

如希望Safeslab欣項科技提供SEMI S2/ F47/ S10/ S6/ E78等服務，請與我們聯系。