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蒸發(fā)鍍膜機(jī)

作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-11-11 來源:互聯(lián)網(wǎng)

  • 詳細(xì)信息

    主要技術(shù)指標(biāo):

    1. 包含熱阻式蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)功能 2. *限真空≤6×10-5Pa;腔室從大氣開始抽氣,在≤40分鐘內(nèi),其真空度≤6×10-4Pa;采用一臺復(fù)合真空計(jì)測量真空度。 3. 鍍膜過程中,襯底溫度≤80℃ 4. Ø4英寸樣品鍍膜均勻度≤±5% 5. 全部操控均為電控并配置相應(yīng)的互鎖機(jī)構(gòu) 6. 蒸發(fā)源與襯底間距260mm±40mm,精確可調(diào) 7. 樣品轉(zhuǎn)盤上可攜掛1片4寸樣片及其它小于4寸的小樣片 8. 電子槍1套,其主要技術(shù)參數(shù):一臺6KW 電子槍;電子束偏轉(zhuǎn)角270º;陽*電壓有6KV和8KV兩擋,面板切換;束流在0-750mA范圍內(nèi)可調(diào);偏轉(zhuǎn)電源:X方向掃描頻率0-20Hz可調(diào),Y方向掃描頻率0-20Hz可調(diào); 啟動真空度:6.7×10-3Pa;槍電源高壓滅弧自動復(fù)位。 9. 坩堝為四穴水冷銅坩堝,每個(gè)坩堝的尺寸為:20ml。可以電動換位。

    主要功能:

    多項(xiàng)蒸發(fā)鍍膜技術(shù)的交叉結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)多種材料的高性能薄膜沉積。

  • 服務(wù)信息

    服務(wù)內(nèi)容:

    種材料的高性能薄膜沉積

    收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn):

    600元/小時(shí)+300元/次工藝+材料費(fèi)

    用戶須知:

    參考學(xué)校共享相關(guān)規(guī)定

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