作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-11-11 來源:互聯(lián)網(wǎng)
1. 包含熱阻式蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)功能 2. *限真空≤6×10-5Pa;腔室從大氣開始抽氣,在≤40分鐘內(nèi),其真空度≤6×10-4Pa;采用一臺復(fù)合真空計(jì)測量真空度。 3. 鍍膜過程中,襯底溫度≤80℃ 4. Ø4英寸樣品鍍膜均勻度≤±5% 5. 全部操控均為電控并配置相應(yīng)的互鎖機(jī)構(gòu) 6. 蒸發(fā)源與襯底間距260mm±40mm,精確可調(diào) 7. 樣品轉(zhuǎn)盤上可攜掛1片4寸樣片及其它小于4寸的小樣片 8. 電子槍1套,其主要技術(shù)參數(shù):一臺6KW 電子槍;電子束偏轉(zhuǎn)角270º;陽*電壓有6KV和8KV兩擋,面板切換;束流在0-750mA范圍內(nèi)可調(diào);偏轉(zhuǎn)電源:X方向掃描頻率0-20Hz可調(diào),Y方向掃描頻率0-20Hz可調(diào); 啟動真空度:6.7×10-3Pa;槍電源高壓滅弧自動復(fù)位。 9. 坩堝為四穴水冷銅坩堝,每個(gè)坩堝的尺寸為:20ml。可以電動換位。
多項(xiàng)蒸發(fā)鍍膜技術(shù)的交叉結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)多種材料的高性能薄膜沉積。
種材料的高性能薄膜沉積
600元/小時(shí)+300元/次工藝+材料費(fèi)
參考學(xué)校共享相關(guān)規(guī)定
1、檢測行業(yè)全覆蓋,滿足不同的檢測;
2、實(shí)驗(yàn)室全覆蓋,就近分配本地化檢測;
3、工程師一對一服務(wù),讓檢測更精準(zhǔn);
4、免費(fèi)初檢,初檢不收取檢測費(fèi)用;
5、自助下單 快遞免費(fèi)上門取樣;
6、周期短,費(fèi)用低,服務(wù)周到;
7、擁有CMA、CNAS、CAL等權(quán)威資質(zhì);
8、檢測報(bào)告權(quán)威有效、中國通用;
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