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等離子體增強物理化學(xué)氣相原子層沉積系統(tǒng)

作者:百檢網(wǎng) 時間:2021-11-11 來源:互聯(lián)網(wǎng)

  • 詳細(xì)信息

    主要技術(shù)指標(biāo):

    *高工作溫度:1200℃(<1小時)連續(xù)工作溫度:1100℃加熱區(qū)長度:400mm恒溫區(qū)長度:200mm爐管旋轉(zhuǎn)速度:0-10RPM(可調(diào))ALD閥脈沖時間:10mS氣路:4路進(jìn)氣流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 0~200 SCCM 三路: 1~200 SCCM 四路: 1~500 SCCM真空計:采用隔膜規(guī)與皮拉尼復(fù)合真空計(測量范圍:3.8x10-5-1125 Torr)系統(tǒng)內(nèi)部帶有一物理蒸發(fā)系統(tǒng),其加熱溫度可達(dá)1000℃等離子發(fā)射源功率:300W等離子發(fā)射源頻率:13.56MHz配有氣液混合裝置可將液體源氣化通入到反應(yīng)腔中

    主要功能:

    此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機復(fù)合粉末的熱處理以及粉末表面的均勻包覆

  • 服務(wù)信息

    服務(wù)內(nèi)容:

    各種半導(dǎo)體薄膜制備電池材料制備磁性材料制備

    收費標(biāo)準(zhǔn):

    500/小時

    用戶須知:

    按學(xué)校學(xué)院收費標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行,需管理員認(rèn)可

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