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共聚焦顯微鏡

作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-11-11 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)

采用激光作為光源,由激光器發(fā)射一定波長(zhǎng)激發(fā)光,經(jīng)放大后通過(guò)掃描器內(nèi)的照明針孔光欄形成點(diǎn)光源,成像于計(jì)算機(jī)上,計(jì)算機(jī)對(duì)所觀察的對(duì)象進(jìn)行數(shù)字圖象處理。 

(1)觀察分析硅片表面、電池柵線、硅片腐蝕后缺陷等物品外觀;

(2)克服光學(xué)顯微鏡景深淺;

(3)對(duì)樣品大小的局限性限制小;

(4)非接觸式、無(wú)損傷的進(jìn)行斷層掃描和成像;測(cè)量柵線高寬比,檢測(cè)硅片形貌。


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