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等離子體化學氣相淀積系統

作者:百檢網 時間:2021-11-11 來源:互聯網

主要技術指標

反應室數量為雙室,*限真空為2.0×10-5Pa(環境濕度≤55%),*大樣品尺寸為φ300mm,淀積不均勻性為≤±5%(φ10吋范圍內)≤±7%(φ12吋范圍內)

主要功能/應用范圍

本系統為計算機控制的雙室PECVD系統,可制備SiO2、Si3N4、非晶硅、微晶硅等薄膜材料,兩室間實現機械臂傳輸樣品

服務內容

具體請跟機主老師聯系

服務的典型成果

為校內外師生提供測試服務

對外開放共享規定

只提供送樣測試服務

參考收費標準

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