服務領域： 能源,電子與測量,其他,土壤,材料,生物醫學,石油化工, 技術指標： 全自動在線測試，電阻率檢測范圍：0.1-10ohmcm，電阻率測試準確性：偏差<±5%；厚度測試準確性：偏差< ±1μm；厚度測試重復性：1σ<0.5%；TTV測試準確性：偏差<±5%；TTV測試重復性：1σ<5%；線痕檢測準確性：偏差<±5%；線痕檢測重復性：1σ<5%；邊寬檢測準確性：偏差<±60？，邊寬檢測重復性：1σ<20？；隱裂檢測*值：寬度≥30？，長度≥200？，檢測準確率：>95%；雜質點檢測*值：Size≥50？×50？，檢測準確率：>95%；孔洞檢測*值：深度≥50？，長度≥50？，檢測準確率：>95% 生產廠商： 匈牙利施美樂博 儀器國別： 啟用時間： 2014-09-30 儀器認證： 湖北省計量院 安放地點： 硅片分檢室 主要用途： 批量全自動在線測試主要用于單晶、多晶硅片及其他片狀物質的外觀異常、內部缺陷、厚度變化、表面粗糙度變化、幾何尺寸、電阻率、P/型的測試 主要附件及功能： 批量全自動在線測試主要用于單晶、多晶硅片及其他片狀物質的外觀異常、內部缺陷、厚度變化、表面粗糙度變化、幾何尺寸、電阻率、P/型的測試