1.范圍

本標準規定了銀靶的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存及質量證明書與訂貨單(或合同)內容。

本標準適用于半導體器件用的各類銀濺射靶材(以下簡稱銀靶)。其他用途的靶材也可參照使用。

2.規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 4135 銀

GB/T 6394 金屬平均晶粒度測定方法

GB/T 11067 銀化學分析方法

GB/T 15077 貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

3.要求

3.1 產品分類

銀靶的類型按化學成分為IC-Ag99.99一種。

銀靶的形狀和尺寸主要由設備基臺確定,外形主要為圓形、矩形和異型。

3.2 化學成分

銀靶IC-Ag99.99的化學成分應符合GB/T 4135的規定。需方對某種特定雜質元素含量有要求的,由供需雙方協商確認。

3.3 晶粒度

銀靶的橫向平均晶粒度應在50μm～150μm。

3.4 外觀質量

銀靶表面應無凹坑、劃傷、裂紋、凸起等缺陷;無潤滑痕跡、顆粒附加物和其他沾污;應清潔光滑,無指痕,無油污和銹蝕。

3.5 表面粗糙度

銀靶表面粗糙度Ra值應不大于1.6μm。

3.6 幾何尺寸

3.6.1 圓形銀靶的直徑Φ中主要有:25mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm,厚度通常為3mm～35mm。

3.6.2 矩形銀靶的尺寸主要有:152mm×76.2mm、680mm×90mm、376mm×40mm,厚度通常為3mm～35mm。

3.6.3 銀靶的尺寸及其允許偏差應符合表1的規定。經雙方協商,可提供其他規格及允許偏差的銀靶。

4.試驗方法

4.1 銀靶IC-Ag99.99的化學成分的分析方法按GB/T 11067(所有部分)的規定執行。

4.2 晶粒度的檢測釆用現場金相或取樣檢測。現場金相的檢測方法見附錄A,取樣檢測按GB/T 6394的規定進行。

4.3 外觀質量用目視檢査,如發現異常現象,在10倍放大鏡條件下進行目視檢查。

4.4 表面粗糙度由粗糙度儀檢測。

4.5 銀靶幾何尺寸的測量按GB/T 15077的規定進行。

5.檢驗規則

5.1 檢驗和驗收

5.1.1 產品應由供方檢驗部門進行檢驗,保證產品質量符合本標準(或訂貨合同)的規定,并填寫質量證明書。

5.1.2 需方應對收到的產品按本標準的規定進行復驗。如復驗結果與本標準(或訂貨合同)的規定不符時,應在收到產品之日起三個月內向供方提出,由供需雙方協商解決。如需仲裁,仲裁取樣應由供需雙方在需方場所共同進行。

5.2 組批

產品應成批提交驗收。每批應由同一投料批、同一規格的產品組成。

5.3 檢驗項目及取樣

檢驗項目、取樣位置及數量應符合表2的規定。

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下載地址：《GB/T 26307-2010 銀靶》