1 范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體用透明石英玻璃器件的術(shù)語和定義、分類和標(biāo)記、材料、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃擴(kuò)散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃倸溫桶、透明石英托架、透明石英瓶和透明石英清洗缸等。

其他用途的透明石英玻璃器件可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。

2 規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

JC/T 597-2011 半導(dǎo)體用透明石英玻璃管

JC/T 2064-2011 半導(dǎo)體用透明石英玻璃棒

3 術(shù)語和定義

JC/T 597-2011 界定的術(shù)語和定義適用于本文件。

4 分類和標(biāo)記

4.1 分類

按用途分為太陽能級(jí)透明石英玻璃器件(T級(jí))和電子級(jí)透明石英玻璃器件(級(jí))。

4.2 標(biāo)記

產(chǎn)品按分類(T或D)、名稱、規(guī)格、生產(chǎn)批號(hào)和標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)的序號(hào)標(biāo)記。

示例：符合JC/T 181-2011，外徑為305Mm，長度為2000mm，生產(chǎn)批號(hào)為20090710的電子級(jí)透明石英玻璃擴(kuò)散管標(biāo)記為：

D-擴(kuò)散管-305×2000-20090710-JC/T 181-2011

5 材料

5.1 透明石英玻璃器件所用石英管、石英棒應(yīng)符合JC/T 597-2011及JC/T 2064-2011中對應(yīng)的T級(jí)或D級(jí)產(chǎn)品的要求。

5.2 透明石英玻璃器件所用石英板應(yīng)無肉眼可見的氣泡、氣線、劃痕等外觀缺陷，雜質(zhì)元素含量應(yīng)符合JC/T 597-2011中對應(yīng)的T級(jí)或D級(jí)產(chǎn)品的要求。

6 要求

6.1 規(guī)格尺寸及尺寸偏差

由供需雙方商定。

6.2 外觀質(zhì)量

6.2.1 所有接口的焊點(diǎn)應(yīng)結(jié)實(shí)、牢固，接縫應(yīng)平滑、無堆料、無變形。

6.2.2 不允許有析晶、炸裂、云霧、色斑、水跡、臟物;揪痕應(yīng)無明顯凸凹不平、光滑平整。

6.2.3 在平臺(tái)上放置不應(yīng)有明顯歪斜、晃動(dòng)，外形應(yīng)均勻?qū)ΨQ。

6.2.4 磨口不允許有亮面。

6.3 應(yīng)力

透明石英玻璃器件在應(yīng)力儀中觀察只允許呈現(xiàn)均勻紫紅色。

6.4 磨口密封性

透明石英玻璃器件盛水后不滲出。

7 試驗(yàn)方法

7.1 規(guī)格尺寸及尺寸偏差

采用分辨率不低于被測參數(shù)允許公差的三分之一的儀器或設(shè)備。

7.2 外觀質(zhì)量

在自然光下，采用目測檢查。

7.3 應(yīng)力

將產(chǎn)品平放在于涉色為紫紅色的應(yīng)力儀視場中，移動(dòng)或旋轉(zhuǎn)試樣，使視場中出現(xiàn)亮度*大的干涉色，觀察試樣各部位的顏色。

7.4 磨口密封性

將水盛入磨口透明石英玻璃器件中，在不涂油脂的情況下，將塞塞緊，使水完全浸潤磨口，20s后，用濾紙擦拭，觀察水液是否滲出。

8 檢驗(yàn)規(guī)則

8.1 檢驗(yàn)項(xiàng)目

按第6章的要求。

8.2 判定規(guī)則

每件產(chǎn)品均需符合第6章中的所有要求，若有一項(xiàng)不合格，則判該件產(chǎn)品不合格。

9 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存

9.1 標(biāo)志

9.1.1 每批產(chǎn)品出廠時(shí)應(yīng)附有產(chǎn)品合格證書，內(nèi)容包括：

a）產(chǎn)品分類（T或D）、產(chǎn)品名稱；

b）產(chǎn)品規(guī)格；

c）生產(chǎn)批號(hào)；

d）標(biāo)準(zhǔn)代號(hào)；

e）檢驗(yàn)員編號(hào)。

9.1.2 包裝箱上應(yīng)有儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志，如“玻璃制品”、“小心輕放”、“請勿倒置”、“防潮”等字樣或圖形以及產(chǎn)品標(biāo)記、廠名或商標(biāo)。

9.2 包裝

產(chǎn)品在潔凈環(huán)境下先單件包裝，包裝應(yīng)滿足防護(hù)、防塵的要求，避免產(chǎn)品的劃傷、破損及污染。單件包裝后如需再集裝時(shí)，包裝也應(yīng)滿足防護(hù)、防塵的要求。產(chǎn)品包裝隨箱放入產(chǎn)品合格證及裝箱單。裝箱單應(yīng)注明數(shù)量或重量、裝箱日期等。

9.3 運(yùn)輸

在運(yùn)輸及搬運(yùn)過程中要注意輕拿輕放，應(yīng)有防雨措施。

9.4 貯存

產(chǎn)品應(yīng)貯存在無有害氣體、干燥清潔的室內(nèi)。

更多標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容點(diǎn)擊以下鏈接獲取標(biāo)準(zhǔn)全文：

下載地址：《JC/T 181-2011 半導(dǎo)體用透明石英玻璃器件》