透射電子顯微鏡(英語:Transmission electron microscope,縮寫TEM),簡稱透射電鏡,是把經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關,因此可以形成明暗不同的影像。通常,透射電子顯微鏡的分辨率為0.1~0.2nm,放大倍數為幾萬~百萬倍.透射電子顯微鏡在材料科學、生物學上應用較多。由于電子易散射或被物體吸收,故穿透力低,樣品的密度、厚度等都會影響到*后的成像質量,必須制備更薄的超薄切片,通常為50~100nm。所以用透射電子顯微鏡觀察時的樣品需要處理得很薄。常用的方法有:超薄切片法、冷凍超薄切片法、冷凍蝕刻法、冷凍斷裂法等。對于液體樣品,通常是掛預處理過的銅網上進行觀察。TEM樣品制備平面樣品制備:切割、研磨、釘薄。截面樣品制備:FIB制備樣品。離子減薄樣品。