作者:百檢網 時間:2022-08-02 來源:互聯網
儀器檢測服務
在市場上,無塵布品種多樣,用途廣泛,價格更是高低不平,客戶在采購無塵布時主要通過無塵布的材質、吸收率等來評估無塵布性能和費用。
而在半導體行業的潔凈室中對無塵布塵粒、離子、ESD等有很高的要求。碩源科技為此提供了一些評估無塵布的方法。
無塵布需進行嚴格測試以達到性能要求和污染控制標準,一般無塵布需進行以下測試:
1、抗磨損性測試
通常,抗磨損性測試屬于布料物理性質的測試。但在無塵布的測試中,因為磨損的過程會產生塵粒,因此,將無塵布的抗磨損性測試歸納為污染控制范圍更合適。
測試標準:抗磨損性越強越不容易產生塵粒。
2、克重
根據ASTM-D-3776測試無塵布單位面積的重量
參考測試標準:一般要求在150-300g/㎡
3、吸液量和吸液速度
根據IEST-RP-CC004.3第8節要求,需測試無塵布的吸收量和吸收速率。
吸液量反映的是單位面積的無塵擦拭布的吸收液體的毫升數。
吸液速率是指無塵布吸收10ml液體所需的時間。
以上兩種測量都須測量三次并計算平均值
*參考測試標準:吸液量一般不小于400g/㎡
吸液速度一般不大于1秒。
4、IC測試
根據IEST-RP-CC004.3第7.2節要求,定性定量地測量無機陰陽離子含量。
參考測試標準,在磁頭行業,一般要求CL-≤0.03ug/c㎡;SO42-≤0.03ug/c㎡;NO3-≤0.03ugc㎡;Total:<1.0ug/c㎡
5、NVR測試
根據IEST-RP-CC004.3第7.1節要求,測試單位面積上的無揮發性殘留物。
NVR測試是將無塵布浸泡于一定量的溶劑中一定量的時間,然后將無塵布取出,測試溶于溶劑中的無揮發性殘留物的質量。
參考測試標準:在磁頭行業,一般要求<3.0ug/c㎡
6、LPC測試
根據IEST-RP-CC004.3第6.2.1節的要求,對無塵布進行LPC測試。
LPC可測試無塵布上的液態塵粒數。
LPC測試是將無塵布浸泡在一定量的DI水中,經過超聲波振蕩,檢測DI水中的塵粒濃度。*參考測試標準:在磁頭行業,一般要求<30counts/c㎡
1、檢測行業全覆蓋,滿足不同的檢測;
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4、免費初檢,初檢不收取檢測費用;
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8、檢測報告權威有效、中國通用;
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