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GB/T 1557-2006 硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-18

標準簡介

本標準規(guī)定了采用紅外光譜法測定硅單晶中的間隙氧含量的方法。本標準適用于室外溫電阻率大于0.1Ω·cm的n型硅單晶和室溫電阻率大于0.5Ω·cm中間的p型硅單晶中間隙氧含量的測量。本標準測量氧含量的有效范圍從1×1016at·cm-3到硅中間隙氧的*大固熔度。
英文名稱：The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
標準狀態(tài)：作廢
替代情況：替代GB/T 14143-1993;GB/T 1557-1989;被GB/T 1557-2018代替
中標分類：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
ICS分類：冶金>>金屬材料試驗>>77.040.30金屬材料化學(xué)分析
發(fā)布部門：質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局.
發(fā)布日期：2006-07-18
實施日期：2006-11-01
作廢日期：2019-06-01
出版日期：2006-11-01
頁數(shù)：7頁

前言

金屬物理性能試驗方法相關(guān)標準

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