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GB/T 1557-2018 硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

作者：百檢網時間：2022-10-18

標準簡介

本標準規定了采用紅外光譜法測定硅單晶晶體中間隙氧含量的方法。本標準適用于室溫電阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅單晶和室溫電阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅單晶中間隙氧含量的測定。以常溫紅外設備測試時，氧含量（原子數）測試范圍從1×1016 cm-3到硅中間隙氧的*大固溶度；以低溫紅外設備測試時，氧含量（原子數）的測試范圍從0.5×1015 cm-3到硅中間隙氧的*大固溶度。
英文名稱：Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 1557-2006
中標分類：冶金>>金屬化學分析方法>>H17半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：冶金>>77.040金屬材料試驗
發布部門：國家市場監督管理總局.
發布日期：2018-09-17
實施日期：2019-06-01
出版日期：2018-09-01
頁數：12頁

前言

半金屬及半導體材料分析方法相關標準

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