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GB/T 15862-2012 離子注入機通用規(guī)范

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-18

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子注入機的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工藝用電能離子注入機。其他離子注入機亦可參照使用。
英文名稱：General specification of ion implantation equipment
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 15862-1995
中標(biāo)分類：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備
ICS分類：31-550
發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2012-11-05
實施日期：2013-02-15
出版日期：2013-02-15
頁數(shù)：16頁

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T15862—1995《離子注入機通用技術(shù)條件》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T15862—1995相比主要變化如下:———GBn193—1983由GB/T13384—1992代替;———增加術(shù)語“注入角度”(見3.6)、“*大晶片傳輸效率”(見3.7),并在性能指標(biāo)及測試方法中做相應(yīng)要求(見6.4.6);———環(huán)境溫度調(diào)整為23℃±2℃;相對濕度規(guī)定范圍30%~50%(見5.1.3);———安全要求中增加“警示標(biāo)識”的條款(見6.3.1);———去掉表3、表4;———均勻性測量增加了熱波探針法測量條件和方法(見6.4.4.1b));———重復(fù)性測量增加了批間重復(fù)性測量方法(見6.4.5.2);———檢驗規(guī)則去掉例行檢驗項。本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國電子科技集團公司第四十八研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:郭健輝、彭立波、羅宏洋。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:———GB/T15862—1995。

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