GB/T 15909-1995 電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-18
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用硅烷氣體的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求等。本標(biāo)準(zhǔn)主要用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學(xué)汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。英文名稱：Gas for electronic industry－Silane
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
替代情況：被GB/T 15909-2009代替
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：1995-01-02
實(shí)施日期：1996-08-01
作廢日期：2010-05-01
頁數(shù)：平裝16開， 頁數(shù)：9， 字?jǐn)?shù)：13千字
前言
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