GB/T 15909-2017 電子工業(yè)用氣體 硅烷
作者：百檢網(wǎng) 時(shí)間：2022-10-18
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅烷氣體的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全的內(nèi)容。?本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅化鎂法、氫化鋁鈉還原四氟化硅法、氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業(yè)用硅烷。 它主要用于制作高純多晶硅、二氧化硅的低溫化學(xué)氣相淀積、氮化硅化學(xué)氣相淀積、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長(zhǎng)原料以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。?分子式：SiH?4。?相對(duì)分子質(zhì)量：32.117（按2011年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量）。?英文名稱：Gas for electronic industry—Silane
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 15909-2009
中標(biāo)分類：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
發(fā)布日期：2017-05-31
實(shí)施日期：2017-12-01
出版日期：2017-06-19
頁數(shù)：16頁
前言
工業(yè)氣體與化學(xué)氣體相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
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