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GB/T 19921-2018 硅拋光片表面顆粒測試方法

作者：百檢網时间：2022-10-19

標準簡介

本標準規定了應用掃描表面檢查系統對拋光片、外延片等鏡面晶片表面的局部光散射體進行測試，對局部光散射體與延伸光散射體、散射光與反射光進行區分、識別和測試的方法。
英文名稱：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 19921-2005
中標分類：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法
ICS分類：冶金>>77.040金屬材料試驗
發布部門：國家市場監督管理總局.
發布日期：2018-12-28
實施日期：2019-07-01
出版日期：2018-12-01
頁數：32頁

前言

金屬物理性能試驗方法相關標準

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