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GB/T 12963-2009 硅多晶

作者:百檢網(wǎng) 時間:2022-10-19

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅多晶的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以三氯氫硅或四氯化硅用氫還原法制得的硅多晶。
英文名稱:Specification for polycrystalline silicon
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):作廢
替代情況:GB/T 12963-1996;被GB/T 12963-2014代替
中標(biāo)分類:冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料
ICS分類:電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門:國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期:2009-10-30
實施日期:2010-06-01
作廢日期:2015-09-01
出版日期:2010-06-01
頁數(shù):8頁

前言

本標(biāo)準(zhǔn)修改采用SEMIM16??1103:2003《多晶硅規(guī)范》,主要差異如下:---增加了技術(shù)參數(shù),如對基磷、基硼電阻率、碳濃度和n型少子壽命的等級要求;---增加了硅多晶尺寸范圍要求。本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T12963-1996《硅多晶》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T12963-1996相比,主要有如下變動:---基磷電阻率等級由300Ω·cm、200Ω·cm、100Ω·cm 修訂為500Ω·cm、300Ω·cm、200Ω·cm;---增加氧化夾層術(shù)語。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:峨眉半導(dǎo)體材料廠。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:羅莉萍、張輝堅、王炎。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T12963-1991、GB/T12963-1996。

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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