作者:百檢網(wǎng) 時間:2022-10-19
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅多晶的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以三氯氫硅或四氯化硅用氫還原法制得的硅多晶。前言
本標(biāo)準(zhǔn)修改采用SEMIM16??1103:2003《多晶硅規(guī)范》,主要差異如下:---增加了技術(shù)參數(shù),如對基磷、基硼電阻率、碳濃度和n型少子壽命的等級要求;---增加了硅多晶尺寸范圍要求。本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T12963-1996《硅多晶》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T12963-1996相比,主要有如下變動:---基磷電阻率等級由300Ω·cm、200Ω·cm、100Ω·cm 修訂為500Ω·cm、300Ω·cm、200Ω·cm;---增加氧化夾層術(shù)語。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:峨眉半導(dǎo)體材料廠。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:羅莉萍、張輝堅、王炎。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T12963-1991、GB/T12963-1996。1、檢測行業(yè)全覆蓋,滿足不同的檢測;
2、實驗室全覆蓋,就近分配本地化檢測;
3、工程師一對一服務(wù),讓檢測更精準(zhǔn);
4、免費(fèi)初檢,初檢不收取檢測費(fèi)用;
5、自助下單 快遞免費(fèi)上門取樣;
6、周期短,費(fèi)用低,服務(wù)周到;
7、擁有CMA、CNAS、CAL等權(quán)威資質(zhì);
8、檢測報告權(quán)威有效、中國通用;
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