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GB/T 12965-1996 硅單晶切割片和研磨片

作者:百檢網 時間:2022-10-19

標準簡介

本標準規定了硅單晶切割片和研磨片的產品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于由直拉、懸浮區熔和中子嬗變摻雜硅單晶經切割、雙面研磨制備的圓形硅片,硅片直徑范圍為50.8~125mm。產品用于制作晶體管、整流器件等半導體器件,或進一步加工成硅拋光片。
英文名稱:Monocrystalline silicon as cut slices and lapped slices
標準狀態:作廢
替代情況:GB 12965-1991;被GB/T 12965-2005代替
中標分類:冶金>>半金屬與半導體材料>>H82元素半導體材料
ICS分類:電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門:國家技術監督局
發布日期:1996-01-01
實施日期:1997-04-01
作廢日期:2006-04-01
頁數:8

前言

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