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GB/T 12965-2018 硅單晶切割片和研磨片

作者：百檢網(wǎng) 時間：2022-10-19

標準簡介

本標準規(guī)定了硅單晶切割片和研磨片（簡稱硅片）的牌號及分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單（或合同）內(nèi)容。本標準適用于由直拉法、懸浮區(qū)熔法（包括中子嬗變摻雜和氣相摻雜）制備的直徑不大于200mm的圓形硅單晶切割片和研磨片。產(chǎn)品主要用于制作晶體管、整流器件等，或進一步加工成拋光片。
英文名稱：Monocrystalline silicon as cut wafers and lapped wafers
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 12965-2005
中標分類：冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H82元素半導(dǎo)體材料
ICS分類：電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門：國家市場監(jiān)督管理總局.
發(fā)布日期：2018-09-17
實施日期：2019-06-01
出版日期：2018-09-01
頁數(shù)：12頁

前言

元素半導(dǎo)體材料相關(guān)標準

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