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GB/T 16594-1996 微米級長度的掃描電鏡測量方法

作者：百檢網時間：2022-10-19

標準簡介

本標準規定了用掃描電鏡測量微米級長度的方法，適用于測量0.5～10μm的長度，也適用于電子探針分析儀測量微米級長度。
英文名稱：Micron grade lenght measurement by SEM
標準狀態：作廢
替代情況：被GB/T 16594-2008代替
中標分類：儀器、儀表>>光學儀器>>N33電子光學與其他物理光學儀器
ICS分類：計量學和測量、物理現象>>長度和角度測量>>17.040.01長度和角度測量綜合
發布部門：國家技術監督局
發布日期：1996-01-01
實施日期：1997-04-01
作廢日期：2009-05-01
出版日期：2004-04-10
頁數：平裝16開，頁數：6，字數：6千字

前言

電子光學與其他物理光學儀器相關標準

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