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GB/T 16594-2008 微米級長度的掃描電鏡測量方法通則

作者：百檢網 時間：2022-10-19

標準簡介

本標準代替GB/T 16594-1996《微米級長度的掃描電鏡測量方法》。 本標準規定了微米級長度的掃描電鏡測量方法的通用原則。 本標準與GB/T 16594-1996相比主要變化如下： ———將“測量方法”改為“測量方法通則”； ———將“誤差分析”改為“不確定度評定”； ———增加樣品變形產生的不確定度評定； ———改用實驗方法獲取圖像測量的瞄準不確定度量值； ———增加“被測長度方向的調整”附錄。
英文名稱：General rules for measurement of length in micron scale by SEM
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 16594-1996
中標分類：儀器、儀表>>物質成分分析儀器與環境監測儀器>>N53電化學、熱化學、光學式分析儀器
ICS分類：化工技術>>分析化學>>71.040.99有關化學分析方
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2008-09-18
實施日期：2009-05-01
出版日期：2009-05-01
頁數：18頁

前言

本標準代替GB/T16594-1996《微米級長度的掃描電鏡測量方法》。本標準與GB/T16594-1996相比主要變化如下:---將測量方法改為測量方法通則;---將誤差分析改為不確定度評定;---增加樣品變形產生的不確定度評定;---改用實驗方法獲取圖像測量的瞄準不確定度量值;---增加被測長度方向的調整附錄。本標準的附錄A 為規范性附錄,附錄B~附錄D 為資料性附錄。本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出。本標準由全國微束分析標準化技術委員會歸口。本標準主要起草單位:上海元寶能源技術有限公司、上海理工大學、上海市計量測試技術研究院、同濟大學、中國船舶重工集團公司第725研究所。本標準主要起草人:張訓彪、盧德生、鄧保慶、丁臻敏、劉悅、高文華、徐國照。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:---GB/T16594-1996。

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