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GB/T 16596-2019 確定晶片坐標系規范

作者：百檢網時間：2022-10-19

標準簡介

本標準規定了使用直角坐標和*坐標建立晶片正面坐標系、背面坐標系和三維坐標系的程序。本標準適用于有圖形和無圖形的晶片坐標系的建立。該坐標系用于確定和記錄晶片上的缺陷、顆粒等測試結果的準確位置。
英文名稱：Specification for establishing a wafer coordinate system
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 16596-1996
中標分類：冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類：電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門：國家市場監督管理總局.
發布日期：2019-03-25
實施日期：2020-02-01
出版日期：2019-02-01
頁數：8頁

前言

半金屬與半導體材料綜合相關標準

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