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GB/T 16942-2009 電子工業用氣體氫

作者：百檢網時間：2022-10-19

標準簡介

本標準規定了電子工業用氫的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以氫氣為原料經凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業用氫氣。它們主要被用來提供還原氣氛,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。
英文名稱：Gas for electronic industry—Hydrogen
標準狀態：現行
替代情況：替代GB/T 16942-1997
中標分類：化工>>其他化工產品>>G86工業氣體與化學氣體
ICS分類：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業氣體
發布部門：國家質量監督檢驗檢疫.
發布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
頁數：12頁

前言

本標準代替GB/T16942-1997《電子工業用氣體氫》。本標準與GB/T16942-1997相比主要變化如下:---修改電子工業用氫的適用范圍(GB/T16942-1997的第1章,本版的第1章);---修改規范性引用文件(GB/T16942-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術指標內容(GB/T16942-1997 的第3章,本版的第3章);---修改電子工業用氫抽樣規則(GB/T16942-1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2);---修改電子工業用氫采樣要求(GB/T16942-1997的4.2,本版的4.1.3);---修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(16942-1997的4.4、4.6,本版的4.3);---修改總烴分析方法的檢測限(16942-1997的4.7,本版的4.5);---修改水分含量的分析方法(16942-1997的4.8,本版的4.7);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T16942-1997的第5章,本版的第5章);---增加規范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業用氫中的氮、一氧化碳、二氧化碳組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。本標準的附錄A 為規范性附錄。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。本標準起草單位:中國計量科學研究院、西南化工研究設計院。本標準主要起草人:周澤義、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:---GB/T16942-1997。

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