標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氮的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氮,以及經(jīng)電化學(xué)方法得到的氮。它們?cè)诔笠?guī)模集成電路制造中用作保護(hù)、吹掃、覆蓋、加壓,化學(xué)氣相淀積等。
英文名稱：Gas for electronic industry—Nitrogen
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
替代情況：替代GB/T 16944-1997
中標(biāo)分類(lèi)：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類(lèi)：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門(mén)：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.
發(fā)布日期：2009-10-30
實(shí)施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
頁(yè)數(shù)：12頁(yè)

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T16944-1997《電子工業(yè)用氣體 氮》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T16944-1997相比主要變化如下:---修改電子工業(yè)用氮的適用范圍(GB/T16944-1997的第1章,本版的第1章);---修改規(guī)范性引用文件(GB/T16944-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T16944-1997的第3章,本版的第3章);---修改電子工業(yè)用氮抽樣和判定規(guī)則(GB/T16944-1997的4.1,本版的4.1);---增加電子工業(yè)用氮采樣要求(見(jiàn)4.1.3);---修改氫、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.3、4.4、4.6,本版的4.3);---修改總烴分析方法的檢測(cè)限(16944-1997的4.7,本版的4.4);---修改水分含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.5,本版的4.6);---修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T16944-1997的第5章,本版的第5章);---增加規(guī)范性附錄A,并把測(cè)定電子工業(yè)用氮中的氫、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法寫(xiě)入該附錄(見(jiàn)附錄A)。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T16944-1997。