標準簡介

本標準規(guī)定了氬的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經純化方法得到的氬。氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護和增壓,它還可以用于化學汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。
英文名稱：Gas for electronic industry—Argon
標準狀態(tài)：現行
替代情況：替代GB/T 16945-1997
中標分類：化工>>其他化工產品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體
ICS分類：化工技術>>化工產品>>71.100.20工業(yè)氣體
發(fā)布部門：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.
發(fā)布日期：2009-10-30
實施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
頁數：5頁

前言

本標準代替GB/T16945-1997《電子工業(yè)用氣體 氬》。本標準與GB/T16945-1997相比主要變化如下:---修改氬的適用范圍(GB/T16945-1997的第1章,本版的第1章);---增加規(guī)范性引用文件(GB/T16945-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術指標內容:增加一類純度和雜質含量(GB/T16945-1997的第3章,本版的第3章);---修改瓶裝氬抽樣方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.1);---增加集裝閣裝、大容積鋼質無縫氣瓶和杜瓦罐裝氬產品并規(guī)定檢驗方法(見4.1.1);---修改管道輸送的氬抽樣方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.2);---增加氬的采樣安全要求(見4.1.3);---修改氫、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的測定方法(GB/T16945-1997的4.3、4.4、4.5,本版的4.3);---增加其他方法測定總烴;當出現多種分析方法時,增加規(guī)定仲裁方法(見4.3、4.4、4.5);---修改水分的測定方法(GB/T16945-1997的4.7,本版的4.5);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T16945-1997的第5章,本版的第5章)。本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會歸口。本標準起草單位:北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設計院。本標準主要起草人:趙俊秀、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T16945-1997。